在諸類(lèi)儀表中,變送器的應(yīng)用最廣泛,最普遍,根據(jù)環(huán)境條件、被測(cè)介質(zhì)、壓力類(lèi)型、工作原理、輸出信號(hào)、經(jīng)濟(jì)性等不同,變送器的種類(lèi)也千差萬(wàn)別,其特點(diǎn)各有千秋。初略估計(jì),全世界有60種以上技術(shù)的壓力傳感器和至少300家企業(yè)生產(chǎn)壓力傳感器。
1、按傳感器工作原理分類(lèi),可分為電阻、電容、電感、半導(dǎo)體等;
2、按傳感器芯片分類(lèi),可分為陶瓷、擴(kuò)散硅、單晶硅、藍(lán)寶石等;
3、從測(cè)量范圍分類(lèi),可分為差壓、表壓、絕壓、密封表壓等;
常見(jiàn)壓力傳感器的特點(diǎn): 擴(kuò)散硅壓力傳感器:技術(shù)成熟,使用廣泛,性?xún)r(jià)比高,表壓測(cè)量為主流,另有少量絕壓,抗過(guò)載和抗沖擊能力強(qiáng),但是只能測(cè)量120℃以下的介質(zhì)。微量程精度略低;
單晶硅壓力傳感器:寬測(cè)量范圍,精度高,工作溫度寬,穩(wěn)定性好,靜壓特性極佳,具有良好的單向受壓特性。
電容式壓力傳感器:低的輸入力和侏儒能量,高動(dòng)態(tài)響應(yīng),小的自然效應(yīng),環(huán)境適應(yīng)性好。 陶瓷壓阻壓力傳感器:具有測(cè)量的高精度、高穩(wěn)定性。電器絕緣程度大于2KV,輸出信號(hào)強(qiáng),長(zhǎng)期穩(wěn)定性好。,微量程和大量程不做選擇,只適用于表壓測(cè)量。
藍(lán)寶石壓力傳感器:主要優(yōu)點(diǎn)是可以測(cè)量高溫介質(zhì),對(duì)溫度變化不敏感。及時(shí)在高溫漂在這幾類(lèi)傳感器中最低。藍(lán)寶石可以最大量程到160MPa,而擴(kuò)散硅的最大量程為35MPa。 應(yīng)變式壓力傳感器:低成本,靈敏度低,響應(yīng)頻率低,長(zhǎng)期漂移大,在大量程測(cè)量上有一些優(yōu)勢(shì)。
石英晶體壓力傳感器:高頻響壓力傳感器,反應(yīng)迅速,數(shù)字輸出穩(wěn)定可靠,具有抗干擾性強(qiáng),適宜于遠(yuǎn)距離傳輸,消除了模擬數(shù)字轉(zhuǎn)換這一復(fù)雜環(huán)節(jié)及其造成的誤差。
濺射薄膜壓力傳感器:突出特點(diǎn)是受溫度影響小,在溫度變化100℃時(shí),零點(diǎn)漂移僅為0.5%,其溫度性能遠(yuǎn)優(yōu)于擴(kuò)散硅,能夠在惡劣環(huán)境條件下使用等特點(diǎn)。